等离子废气净化设备又称为低温等离子废气处理设备、等离子废气净化设备，等离子废气除臭设备，它是一种用应于有机废气处理的环保设备，具有阻力小，操作简单等特点，等离子废气处理设备广泛适用于工厂各种低浓度的有机废气处理。

　　低温等离子废气处理设备的投入和维护费用：一次性投入成本较高，后期维护成本少。二次污染：无二次污染。兼具物理效应、化学效应和生物效应，处理效率高的特点。低温等离子废气处理设备当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，终生成无害产物。使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质害的物质，或使有毒有害物质转变成无从而使污染物得以降解去除。低温等离子技术是在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；二是等离子体中包含大量的电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。

　　在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。