华南地区某知名半导体制造企业的新建晶圆厂，生产过程中产生大量酸性废气。由于半导体工艺对环境要求极高，废气处理系统需要同时满足严格的排放标准和厂区环境空气质量要求。

　　废气总风量约80,000m³/h，具有浓度低、风量大、成分复杂的特点，且部分废气具有腐蚀性和毒性。

　　酸性废气通过填料式碱洗塔，采用NaOH溶液循环喷淋，去除HF、HCl等酸性气体

　　：针对SiH₄、PH₃等特殊气体，采用次氯酸钠氧化处理，将其转化为无害物质。

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